超纯水是一种经过特殊处理的水，其特点在于几乎去除了水中的所有导电介质，包括溶解的盐类、离子、有机物、微生物等，使得其电导率极低，电阻率极高。具体来说，超纯水的电导率通常在0.1—0.055μs/cm之间，电阻率（在25℃时）大于10×10^6 Ω·cm，含盐量小于0.1mg/L。理想状态下，超纯水的电导率可达0.05μs/cm，电阻率达到18.3×10^6 Ω·cm。
超纯水在制备过程中，一般会经过预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等步骤，可能包括多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法。由于其极高的纯净度，超纯水被广泛应用于对水质要求极高的领域，如半导体工业、生物技术、医药制造、分析化学等，用于清洗、制备材料、作为溶剂等。
需要注意的是，虽然超纯水纯度高，但不含有人体所需的矿物质微量元素，因此不建议直接饮用，若用于饮用，可能需要进一步处理。此外，超纯水在储存和运输过程中也需要特殊的设备和条件，以保持其纯净度