特种气体是一类特殊用途的气体，具有高纯度和特定的化学性质，广泛应用于多个领域。特种气体可以分为以下几类：
电子气体：
用于半导体制造过程中的多种工序，如外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻、退火等。
标准气体：
用于校准和测试各种测量设备。
环保气体：
用于环境监测和保护环境。
医用气体：
用于医疗诊断和治疗。
焊接气体：
用于焊接和切割。
杀菌气体：
用于消毒和灭菌。
特种气体的一些例子包括：
氮气 （N2）：纯度要求高于99.999%，用于标准气体、在线仪表标准气、校正气、零点气、平衡气等。
氧气 （O2）：纯度要求高于99.995%，用于医疗气体、热氧化、扩散、化学气相淀积、等离子干刻等。
氩气 （Ar）：纯度要求高于99.999%，用于标准气体、零点气、平衡气等。
氢气 （H2）：纯度要求高于99.999%，用于标准气体、零点气、平衡气、校正气、在线仪表标准气等。
氦气 （He）、 氖气 （Ne）、 氪气 （Kr）、 氙气 （Xe）：惰性气体，用于各种工业和科研应用。
特种气体的安全贮运也非常重要，需要使用专门的气瓶柜、气瓶架、集装格，以及紧急关断阀门和常闭气动阀门。特种气体的生产和应用需要严格遵守相关的安全规定和标准。