臭氧主要通过以下两种方式产生：
自然产生
臭氧主要存在于距地球表面约20公里的臭氧层中，其含量约为50ppm。臭氧层中的臭氧主要由太阳光中的紫外线照射氧气（O₂）产生。紫外线辐射与氧分子相互作用，导致氧分子分解成氧原子和氧分子，然后氧原子和氧分子重新结合形成臭氧分子（O₃）。
人为产生
近地面的臭氧主要由氮氧化物（NOx）和挥发性有机物（VOCs）之间的光化学反应产生。这些物质通常来源于人类活动，如交通工具的尾气排放、工业生产等。在阳光照射下，这些污染物与空气中的氧气反应，生成臭氧。
此外，还有其他一些方法可以产生臭氧，例如：
紫外照射法：利用紫外线照射干燥的氧气，使一部分氧分子被激活离解成氧原子，进而形成臭氧。
电解法：通过低压直流电对水进行电解，使水在阳极-溶液界面上发生氧化反应产生臭氧。
放射化学法：利用放射源核辐射离解氧分子生成臭氧。
介质阻挡放电法：通过交变高压电场在气体中产生电晕，电晕中的自由高能电子离解氧气分子，经碰撞聚合为臭氧分子。
这些方法中，人为产生的臭氧主要来源于人类活动，对环境和人类健康的影响较大，因此需要采取措施减少其排放。