超纯水是指 电阻率达到18MΩ·cm（25℃）的水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，同时也不含人体所需的矿物质微量元素。超纯水是通过蒸馏、去离子化、反渗透技术或其他适当的超临界精细技术生产出来的。
超纯水的制备通常包括以下步骤：
预处理：
去除水中的悬浮物、胶体物质和大部分有机物。
脱盐：
通过离子交换等方法去除水中的盐类。
精处理：
通过进一步的处理，如反渗透、超滤、紫外线杀菌等，使水的电阻率达到所需的18MΩ·cm（25℃）标准。
超纯水广泛应用于电子工业、半导体材料制备、纳米技术等领域，也用于其他需要高纯度的场合。由于其电阻率高，超纯水在直接饮用时对人体有害，因为它会析出人体中很多离子。