开具技术服务费发票的步骤通常包括：
准备开票资料
确定发票项目，如有多种技术服务费，需分开开具。
准备开票信息，包括发票抬头、开票人、对方购买方信息、纳税人识别号、购买方地址和电话等。
确认开票资格
确认公司营业执照上是否有技术服务的经营项目。
如无，需到税务局代开；如有，需申请技术服务发票的税率，并等待审批通过。
选择开票方式
根据发票金额，可选择电子发票或纸质发票。
开具发票
使用开票软件或税控设备，输入开票内容（包括金额、税率、摘要等），并打印。
发票管理
开具后需对票据、审批、存档等进行管理，以便及时传真、传阅、归档。
注意事项
确保发票票面信息准确无误，避免处理费收取、发票报销、财务报表数据编制上的错误。
发票开具方需加盖公章，并录入税务机关系统。
发票开具后，应及时报送报销及申报。
请根据最新的税务规定和流程进行操作，因为税率和政策可能会有所变动。