洁净气体通常指的是那些在特定应用中，如半导体制造、气体灭火系统、医疗和工业气体等，需要使用高纯度、无污染、无有害杂质的气体。以下是一些常见的洁净气体：
氮气 （N₂）：
无色、无味、无毒，广泛用于气体灭火系统和半导体制造中作为保护性气氛。
氧气 （O₂）：
无色、无味，是生命维持所必需的气体，在医疗和工业中广泛使用。
氩气 （Ar）：
无色、无味、无毒，是一种惰性气体，常用于半导体生产过程中的保护性气氛。
氢气 （H₂）：
无色、无味，虽然极易燃烧，但在半导体制造中用于清洗和去除表面氧化物。
二氧化碳 （CO₂）：
无色、无味，在工业和医疗中用作气体灭火剂。
氦气 （He）、氖气 （Ne）、氩气 （Ar）、氪气 （Kr）、氙气 （Xe）：
这些稀有气体通常被称为惰性气体，在气体灭火系统中使用，因为它们不参与化学反应，无毒无害。
水蒸气 （H₂O）：
虽然通常不被视为气体，但在某些情况下，如蒸汽灭火，水蒸气也可以作为洁净气体使用。
氟化氢气体 （HF）：
在半导体制造中作为腐蚀剂使用。
这些气体在特定的应用中需要高纯度，以确保安全和效率。