靶材，也称为溅射靶材，是一种高速荷能粒子轰击的目标材料，用于在真空条件下通过物理气相沉积（PVD）技术形成薄膜。在溅射过程中，高能粒子（如离子或电子）被加速并撞击靶材表面，将靶材表面的原子或分子“剥离”出来，然后这些原子或分子沉积到衬底表面，形成所需的薄膜。
靶材的种类繁多，可以根据材料种类、纯度、形状等进行分类：
材料种类：金属靶、合金靶、陶瓷靶、复合靶等。
纯度：高纯靶材、超高纯靶材等。
形状：长靶、方靶、圆靶等。
靶材在电子元器件制造、半导体材料制备、光学材料、超导材料、医学及生物材料等领域中有着广泛的应用。选择合适的靶材对于获得高质量薄膜至关重要