厂房拆迁的补偿费用通常包括以下几个部分：
房屋补偿费：
根据被拆迁房屋的结构和折旧程度进行计算，按照平方米单价计算。
设备搬迁安装费：
涉及将设备从原位置搬迁到新位置的费用，以及安装调试的费用。
设备重置成新价：
如果设备在拆迁过程中需要更换，需要计算新设备的购置成本。
停产停业补偿：
对于因拆迁导致的停产停业损失进行的补偿。
周转补偿费：
为补偿被拆迁房屋住户因临时居住产生的不便，可能会按照住户人口每月给予补贴。
其他补偿：
可能包括土地的区位补偿、装修附属物损失等。
具体的补偿金额会根据当地的市场评估价格、政策以及被拆迁厂房的具体情况（如结构、设备种类、使用年限等）有所不同。因此，无法给出一个统一的每平方米补偿金额。建议联系当地的征收部门获取最准确的补偿标准信息。