真空泵根据其工作原理和性能特点可以分为以下几种类型：
气体捕集泵
气体传输泵
低真空泵（极限压力高于102Pa）
中真空泵（极限压力在102~-10^-1Pa）
高真空泵（极限压力在10^-1~10^-5Pa）
超高真空泵（极限压力低于10^-5Pa）
机械式容积真空泵
往复式真空泵
旋转式机械泵（包括旋片式、螺杆式、罗茨式、液环式等）
射流式真空泵
水蒸气喷射泵
空气喷射泵
水喷射泵
扩散泵
其他类型
喷射泵
吸附泵
低温泵
离子泵
常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等。这些泵广泛应用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业