表面粗糙度的测量方法主要包括以下几种:
比较法
将被测表面与标有一定评定参数值的表面粗糙度样板比较,从而判断被测表面的粗糙度。这种方法简单实用,但准确性受检验人员经验影响较大,通常用于中等或较粗糙表面的测量。
光切法
利用光切原理,通过光切显微镜或双管显微镜测量表面粗糙度。这种方法适用于测量Rz值,但操作繁琐,不常用。
干涉法
利用光波干涉原理,通过干涉显微镜测量表面粗糙度。这种方法适用于高精度测量,但调整仪器较麻烦。
触针法
利用金刚石触针在被测表面上轻轻划过,通过传感器将触针的位移变化量转换成电信号,经放大、滤波、计算后显示表面粗糙度数值。这种方法适用于测量各种形状的被测表面,方便快捷,读数精准,分为便携式和台式。
印模法
利用塑性材料作块状印模,贴合在被测表面上,取下后测量印模的表面来评定被测表面的粗糙度。这种方法适用于测量仪器不能直接测量的工件表面,如深孔、盲孔、凹槽、内螺纹等,但准确性不高且操作复杂。
激光反射法
通过激光束以一定角度照射到被测表面,通过观测反射强弱测出表面粗糙度。这种方法属于非接触测量法。
激光全息法
以激光照射被测表面,利用相干辐射拍摄被测表面的全息照片,获得一组表面轮廓的干涉图形,然后用硅光电池测量黑白条纹的强度分布,测出黑白条纹反差比,从而评定表面粗糙度程度。这种方法也属于非接触测量法。
白光干涉法
基于光学干涉原理,通过测量反射或透射光的相位差来评估表面的粗糙程度。这种方法具有非接触、高精度和宽测量范围的特点,适用于各种表面材料和形状。
原子力显微镜(AFM)
通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质。AFM以纳米级分辨率获得表面形貌结构信息及表面粗糙度信息。
根据具体测量需求和条件,可以选择合适的测量方法。例如,对于粗糙度要求不高的场合,可以使用比较法;对于需要高精度测量的场合,可以使用干涉法或AFM。