如何改善单极式变极距型电容传感器的非线性

为了改善单极式变极距型电容传感器的非线性，可以采用以下方法：

差动式结构设计

在两个固定极板之间插入动极板，动极板与两边的固定极板分别构成两个互为差动的电容。

当动极板移动时，一个电容增加，另一个电容相应减少，从而减小非线性误差。

桥式电路应用

将上述差动结构的电容作为桥式电路中相邻的两个桥臂。

这样，电桥的输出电压与动极板的移动距离呈线性关系，并且灵敏度较单个电容传感器增加2倍。

采用差动式结构可以使非线性误差减小一个数量级，并且由于结构上的对称性，它还能有效补偿温度变化所造成的误差。