无尘室是一个高度控制的环境,用于制造和装配精密产品,如硅芯片、精密仪器、电子元件等。它包含以下几个主要部分:
空气洁净度:
通过高效过滤器(如HEPA和ULPA)控制空气中的微粒、气溶胶和气味等污染物。
结构装修系统:
包括墙体、顶棚、地面、门窗等,要求气密、表面平整光滑、耐磨、耐久、不易产生静电、隔热吸声、易清洁、不吸湿霉变、不释放有害气体。
通风空调系统:
维持室内环境洁净度,包括全新风空调箱、FFU(风机过滤器单元)等,确保空气流动均匀,温度和湿度控制得当。
电气系统:
包括配电箱、玻璃幕墙、层流罩等,提供必要的电力供应和控制设施。
其他设施:
如风淋室、隔热夹心板、洁净密闭门、高效送风口、传递窗、洁净密闭窗、洁净密闭灯、通风拄井、地面处理、结构包柱等。
无尘室的设计和建造需要满足特定的洁净度等级,如万级洁净实验室,以确保产品生产的洁净和无菌环境。