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无尘室包含哪些

原创2025-08-10 15:26:44

无尘室是一个高度控制的环境,用于制造和装配精密产品,如硅芯片、精密仪器、电子元件等。它包含以下几个主要部分:

空气洁净度:

通过高效过滤器(如HEPA和ULPA)控制空气中的微粒、气溶胶和气味等污染物。

结构装修系统:

包括墙体、顶棚、地面、门窗等,要求气密、表面平整光滑、耐磨、耐久、不易产生静电、隔热吸声、易清洁、不吸湿霉变、不释放有害气体。

通风空调系统:

维持室内环境洁净度,包括全新风空调箱、FFU(风机过滤器单元)等,确保空气流动均匀,温度和湿度控制得当。

电气系统:

包括配电箱、玻璃幕墙、层流罩等,提供必要的电力供应和控制设施。

其他设施:

如风淋室、隔热夹心板、洁净密闭门、高效送风口、传递窗、洁净密闭窗、洁净密闭灯、通风拄井、地面处理、结构包柱等。

无尘室的设计和建造需要满足特定的洁净度等级,如万级洁净实验室,以确保产品生产的洁净和无菌环境。

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